DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M
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DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M

德國 DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M
Dresden ECRIS-2.45M 離子源是一種產生低電荷單粒子的電子回旋共振離子源, 根據離子種類, 離子束范圍 10 微安到幾毫安.

德國 DREEBIT 離子源 Dresden ECRIS-2.45M 技術資料

功率

200W

最大電子能量

30 kV, 10 mA

extraction potential

6 kV, 50 mA

lens potential

30 kV, 10 mA

長度

460 mm

直徑

340 mm

重量

35 kg

beamline flange

DN 160 CF

電力消耗

2 kW

冷卻

風冷, 不需要水冷

真空條件

5X10-8 mbar (1X10-5 mbar with working gas)

 

DREEBIT 離子源譜圖 

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