上海伯東真空產品事業部搬遷通知

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
閱讀數: 157

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

Pfeiffer 氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
脈沖激光沉積系統 PLD
脈沖激光沉積系統 Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質結構和超晶格結構的物理氣相沉積設備, 通常需要保證本底真空度達到 10-8mbar, 同時高真空環境對系統配置的 RHEED 及溫控系統等關鍵設備的壽命也至關重要.

脈沖激光沉積系統 PLD 需要檢漏原因
PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.

脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

生長多層膜(TiN/ALN)結構, 各層膜厚度可調

高通量制備具有不同材料成分的100種材料

PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏


脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
上海伯東推薦 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

型號

ASM 340 WET

ASM 340 D

ASM 340 I

對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進氣口最大壓力 hPa

25

25

5

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32


鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉女士                                  臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
[email protected]                        [email protected]
上海伯東版權所有, 翻拷必究!

其他產品
贵州十一选五一定牛 极速飞艇全天计划 天津快乐10分走势图基本图 什么会影响股票涨跌 福彩26选5开奖号码中特 原纱央莉 番号 5分pk10最精准计划群 活塞vs森林狼视频直播 15选5历史开奖数据 NBA篮网队拉塞尔纹身 上海11选5奖金对照麦 贵州茅台股票行情分析 甘肃11选5任五推荐 京东智投 广东11选5官方 湖北快3 体彩十一选五开奖直播