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氦質譜檢漏儀減壓器檢漏
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氦質譜檢漏儀減壓器檢漏

氦質譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器, 又稱減壓閥門, 是將高壓氣體降為低壓氣體, 并保持輸出氣體的壓力和流量穩定不變的調節裝置. 主要應用于半導體管路或實驗室壓力控制. 減壓器本身如果出現泄漏, 會直接導致高壓氣體泄漏, 一旦氣體屬于有毒有害氣體, 將導致嚴重的生產事故! 因此減壓器在出廠前必須經過嚴格的泄漏檢測, 氦質譜檢漏法與傳統泡沫法對比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點, 在真空模式下, 可以顯示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯東氦質譜檢漏儀現已廣泛應用于減壓閥檢漏
 
上海伯東減壓器檢漏客戶案例
: 某公司生產減壓器, 主要用于半導體管路中氣體減壓, 調節氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 經過伯東推薦, 最終選擇前級泵為干泵的移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390
氦質譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器檢漏方法: 選用氦質譜檢漏儀真空模式進行檢漏, 減壓器直接與檢漏儀進氣口相連, 用噴槍在懷疑有漏的地方進行吹掃, 鑒于客戶信息保密, 更詳細的減壓器檢漏應用案例, 歡迎撥打客服熱線: 021-5046-3511
氦質譜檢漏儀減壓器檢漏
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390

氦質譜檢漏儀 ASM 390

檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導體行業要求!
檢測氣體: 4He, 3He, H2
最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速: 10 l/s
前級泵抽速: 35 m3/h


氦質譜檢漏儀應用推薦:

普發氦質譜檢漏儀應用

半導體管路配件檢漏
應用于半導體行業的高端不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管, 產品漏率值需要達到 10-9 mar l/s. 采用氦質譜檢漏儀 ASM 390 進行檢漏

氦質譜檢漏儀

流量計檢漏
采用氦質譜檢漏儀 ASM 340 對流量計的主體金屬外殼進行檢漏, 外殼焊縫和接頭部位都需要進行檢漏


結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

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